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edwards ext 涡轮分子泵和复合分子泵提供---的、无碳氢化合物的高真空和真空。ext 使用多级轴流式涡轮机以及磁性陶瓷轴承,可为高临界前级线路压力制程提供无油、无振动的操作,同时将维护需求降至。
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edwards next240d涡轮分子泵
入口法兰dn100iso-k,dn100cf
出口法兰kf25
抽速n2240l/she230l/sh2165l/s
压缩比n2>;1×1011he3×105h21×104
---真<6×10-8/<5×10-10 mbar
前级泵*rv12/nxds10i
放气口1/8英寸bsp母螺纹
吹扫口1/8英寸bsp母螺纹
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