１内应力塑性变形，热处理过程中加热冷却的不均匀和相变的不等时性，高速钢真空热处理加工，都会产生内应力，在一定塑性条件的配合下，高速钢真空热处理加工厂家，就会产生内应力塑性变形。在加热和冷却过程中，零件的内外层加热和冷却速度不同造成各处温度不一致，致使热胀冷缩的程度不同，这样产生的应力变形叫热应力塑性变形。在加热和冷却过程中，零件的内部组织转变而发生的时间不同，这样产生的应力变形叫组织应力变形塑性变形。２体积变形，比容变形在热处理过程中，各种相结构的组织比容不同，在相变时发生的体积和尺寸变化为比容变形。比容变形一般只与奥氏体中碳和金元素的含量、游离相碳化物、铁素体的多少、淬火前后组织比容变化差和残余奥氏体的多少和钢的淬透性等因素有关。
1.真空炉处理钛合金时，不宜用氮气作为冷却气体，因为钛和氮在高温下反应，形成金黄色的氮化钛。
2.真空炉活动连接部分全部采用o型橡胶圈密封连接，此部分均通水冷却。
3.工件在真空状态下淬火，应使用真空淬火油，此油具有较低的饱和蒸气压。
4.真空炉的保养应在真空或充纯氮状态下，高速钢真空热处理，避免平时不用时吸气，吸潮。
5.国内真空炉的压升率应不大于1.33pa/h，国外某些企业的标准为0.67pa/h
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