韩国减薄机-凯硕恒盛公司

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2021-8-14  
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硅片减薄机

主要用途:

非常适合于工件硬度比较高,厚度超薄,且加工精度要求高的产品。如: led蓝宝石衬底、光学玻璃晶片、石英晶片、硅片、诸片、陶瓷片、钨钢片等各种材料的快速减薄。

工作原理:

1.本系列横向研磨机为精密磨削设备,由真空主轴吸附工件与金刚石磨轮作相反方向高速磨削,金刚石磨轮前后摆动。该方法磨削阻力小、工件不会破损,而且磨削均匀生产。

点:

1.可使工件加工厚度减薄到0. 02m厚而不会破碎。而且平行度与平面度可控制在+ 0.002m范围内。

2.减薄; led蓝宝石衬底每分钟可减薄48um o硅片每分钟可减薄250um o

3.系列研磨机采用cnc程控系统,触摸屏操作面板。


影响减薄机减薄硅片平整度的因素有哪些?

减薄前将硅片粒结合在行星齿轮片上的沾片方法是十分重要的。因为当沾片的方法不合理时,减薄后的硅片厚度公差将会随之增大,所以在沾片前我们要故的首步是将硅片按厚度分好档,然后把硅片用蜡均匀地沾在行星齿轮片正、反两面上,需要注意的是同一轮研磨的四块或五块行星齿轮片上的硅片厚度-定要均匀,如果硅片不按照厚度去分档,而任意沾片,韩国减薄机,想要提高减薄后的硅片厚度公差是相对比较困难的。



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立式减薄机ivg-200s设备结构

1.构成

1磨盘主轴系统

2工件盘主轴系统

3进给系统

4控制系统

5辅助设备

2。规格

1砂轮尺寸:o.d200mm×(x)7mm×(t)5mm

2加工尺寸:较大φ250mm

3速度和功率:

砂轮:3,000rpm(无级可调)  3.0kw ac伺服电机

工件:200rpm 无级可调   0.75kw 齿轮电机

4)分辨度:0.001mm

5)精度:±0.002mm

6)重复度:0.001mm

7)研磨范围:200mm

8)进给率:0.1μm-1000μm/sec






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