要---硅片厚度的一致性。因为当研磨时,由于磨料分布不均匀,使得行星齿轮片_上、下硅片研磨速度也会不一样,所以要想---硅片的减薄速度一样,就必须在每研磨到一定时间时将行星齿轮片翻转后再进行研磨,从而---硅片厚度的一致性,同时也让硅片厚度公差得以缩小,具体要研磨多久才进行翻车专为适当,是要根据减薄厚度和测试结果来定的。
1.操作简单
该设备采用plc控制系统,日本指纹识别减薄机,通过简单的培训,操作者即可在液晶显示屏友好界面的引导下,熟练操作设备。当设备出现故障时, 屏幕向导会提示出错编码,易于排除故障。
2.设计安全
该设备的设计处处为使用者的安全着想,---操作加工的安全。
3.---精度
磨盘的进给采用微米步进电机进给系统,---长时间的加工精度。
4.各轮独立驱动
磨盘及工件盘均采用独立的电机,分别采用变频或伺服控制,转速可任意调整,且控制简便。
5.冷却水循环使用
冷却水箱配有杂质过滤系统,冷却水可循环使用,即节约成本,又减少了对环境的环境。一台冷却水箱可同时连接多台设备。
特点
型号: 全自动vrg-300a
型号:hrg-150
1. 结构简单稳固
铸铁机身
结构设计---
减少晶片表面损伤及翘曲
2. 自动尺寸控制系统
3.自动修整系统
4. 全自动上下料系统
5. 自动清洗和干燥系统
6. 可编程操作系统
可存储20套加工程序,简单操作
易于操控
应用领域
硅片,碳化硅片,蓝宝石晶圆,金属,陶瓷,
碳,玻璃,塑料,复合材料
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