钟罩磁控溅射镀膜机

成都超迈光电科技有限公司为您提供钟罩磁控溅射镀膜机。主体结构。全封闭框架结构，真空室为上提拉方式，机柜和主机为分体式。
真空度。≤5×10－5pa空载、经充分烘烤除气并充干燥氮气，漏率：优于1x10-7pa.l/s,压升率优于---标准。
真空配置。高速直联旋片泵一台，抽速大于8l/s，配置尾气处理装置。分子泵一台，抽速1200l/s。
真空测量。两路电阻规，一路电离规；电阻规和电离规均采用防爆型金属封结真空规。
工件架系统。7工位2英寸行星工件盘，6个在圆周上，1个放置在工件盘中心，可用于共溅射，中心工位设置加热台，采用pid控制可烘烤加热到700℃。工件盘由减速电机驱动。
磁控溅射系统。配置3个φ50mm可折叠磁控靶可扩展至4靶机构，安装真空室底部，向上溅射成膜；每只靶和基片件距离手动可调；靶内均通入冷却水冷却。
电源 。2套直流电源； 1套5全固态射频电源；；一套200w直流偏压电源；
充气系统。配置三路供气，二路分别配置流量控制器，线性±0.5 % f.s，重复精度±0.2% f.s，0-5v输出，在触摸屏上设置流量。
电气控制系统。采用功能化模块设计，可选配西门子人机界面+西门子控制单元，溅射时间可以设定并---，能够根据工艺需求自动溅射。
可选配置：在线膜厚监控系统；垂直溅射与共溅射兼容；基片烘烤温度至800摄氏度，满足部分材料的真空原位退火或气氛保护退火的需要；蒸发镀膜与磁控溅射兼容；干式无油洁净真空系统；在线离子轰击清洗；自动挡板和手动挡板；直流电源射频电源的组合形式。
---说明：根据用户不同的工况和工艺要求，公司愿与客户联合研发，共享---，公司致力于工艺与设备的---匹配。

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