电磁耦合磁控溅射镀膜机

成都超迈光电科技有限公司为您提供电磁耦合磁控溅射镀膜机。设备主要由真空腔体、真空系统、工件盘系统、烘烤系统、溅射系统、离子轰击系统、充气系统和在线测量系统组成，同时匹配空气压缩气体气源和水冷系统，可根据客户使用需求定制。
真空腔体：φ900x1050，双层水冷；可根据实际需求定制
真空系统：分子泵+低温泵+罗茨泵+机械泵复合真空系统；
真空抽速：4000-7000l/s，进口全量程复合真空计，全金属防爆真空规；
磁控靶组件：4个矩形靶，4个圆柱靶，根据客户实际需要匹配中频、射频、脉冲直流溅射电源；
离子源：2套线性离子源，匹配---电源；
气路：4路反应气体，进口流量计，1路毛细保护气路；
烘烤温度：400℃，不锈钢铠装加热器，可拆卸快装结构；
工件盘：导轨多工位行星工件盘2套标准配置为12工位和24工位，可扩展数百件工件共同沉积，工件盘装夹移动小车一辆；
控制系统：西门子plc+西门子人机界面+工业控制计算机。
---说明：该设备为公司与中科院某所合作研制，获得---科技进步、---科技发明奖、机械工业科技进步一等奖和中科院重大设备专项等-，公司提供一揽子技术解决方案，同时与合作伙伴共享---。

     联系时请说明是在云商网上看到的此信息，谢谢！
     联系电话：13981907896，13981907896，欢迎您的来电咨询！
     本页网址：https://www.ynshangji.com/cp/38429253.html
     推荐关键词： PVD真空镀膜, DIY真空镀膜, CVD真空镀膜, 晶体生长设备, 等离子刻蚀设备