EBPVD复合镀膜机

成都超迈光电科技有限公司为您提供ebpvd复合镀膜机。形式：箱式一体机，立式前开门，蒸发室和抽气室为整体焊接式，一体机系统。
真空系统：真空5x10-4pa，主泵为复合分子泵。
真空测量：配三路数字复合真空计，均采用安全防爆金属测量规。
工件架系统。客户需求定制，配置可扩展4英寸、3英寸、2英寸基片的---互换工装，转速3～30rpm变频可调，工件盘为球形和行星工件盘可选，行星工件盘成本较高。
烘烤系统。不锈钢铠装加热器匹配数字功率控制器和pid控制模块，烘烤温度300℃，温控精度1℃，过冲不超过2℃。
电子束蒸发源。e型电子束蒸发源系统(e型)1套，主体有屏蔽罩，单枪、单电源、单扫描，配置独立高压控制柜。选配或必须配置
坩埚：坩埚1套，电动转位和点动转位，配置无氧铜坩埚一套。
电阻蒸发源：2套电阻蒸发源。选配或主配
膜厚测试系统。配瑞士inficon石英膜厚在线测量系统， rs-232 和 usb兼容，匹配水冷膜厚探头。选配
离子源:一套选配离子源或高压离子轰击系统
控制系统：成熟---的真空镀膜控制系统，西门子工业级10英寸触摸屏和plc，能够实现抽真空、工转烘烤、自动充气、自动镀膜、自动冷却放气等镀膜生产流程；支持半自动和手动等镀膜操作方式。水、电、气路有故障自动报警和保护系统，采用声光报警。
说明：根据用户要求，公司愿与客户联合研发，共享---，公司致力于工艺与设备---匹配
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