4低温泵
利用低温表面捕集气体的真空泵
3.1.3 真空泵的性能参数及使用范围
3.1.3.1 真空泵的性能参数
1真空泵的-压强
泵的-压强单位是pa，是指泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的l低压强。
2真空泵的抽气速率
泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试验罩，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩---位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。
3真空泵的抽气量
真空泵的抽气量单位是pa m3/s或pa l/s。是指泵入口的气体流量。
4真空泵的起动压强
真空泵的起动压强单位为pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用时的压强。
5泵的前级压强
真空泵的前级压强单位是pa，它是指排气压强低于一个-压的真空泵的出口压强。
6真空泵的/l大前级压强
真空泵口/l大前级压强单位是pa，它是指超过了能使泵损坏的前级压强。
液环真空泵需要用液体作为工作介质。每种液体在某一温度下都有对应的饱和蒸汽压。如果真空泵叶轮在汽蚀部位有较大的残余应力，还会引起应力释放，产生裂纹。当吸入区域的绝l对压力越接近液体的饱和蒸汽压时，液体越接近沸腾状态。这时，在吸入区域的工作液表面会产生大量的汽泡，由于液体在工作腔内产生的工作液蒸汽会占据部分工作腔的空间，泵对外的吸气能力会有所下降。当吸入区域的压力达到工作液的饱和蒸汽压时，可以认为工作腔内全部充满了工作液蒸汽，此时泵对外的吸气能力接近于0，而此时泵的汽蚀现象也为-。
真空泵全拆修叫做大修，对采取了局部拆修措施而未能排除故障的一些真空泵，其真空度仍低、仍有渗漏等现象;或者有些泵有下述现象之一者:如泵发生“卡死现象，油很脏而且泵内已结了垢，生了锈或用了不适当的油使机械泵内部零部件上结了硬壳(硅油进入机械泵内，就可能产生这种情形)，旋片有较大的撞击声，泵腔内落入异物(金属屑、玻璃屑、铜屑等)划伤泵腔，摩擦-温升很厉害(超过70℃)等，均需将机械泵全拆开进行清洗修理。3吸气剂离子泵它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。
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