负性光刻胶厂家放心-
pr1-1500a1负性光刻胶厂家
nr9-3000py 相对于其他光刻胶具有如下优势:
- 优异的分辨率性能
- 快速地显影
- 可以通过调节-能量很容易地调节倒梯形侧壁的角度
- 耐受温度100℃
- 室温储存保质期长达3 年
光刻胶
光刻胶由光引发剂、树脂、溶剂等基础组分组成,又被称为光致抗蚀剂,这是一种对光非常敏感的化合物。从对准原理上及标记结构分类,对准技术从早期的投影光刻中的几何成像对准方式,包括图像对准、双目显微镜对准等,一直到后来的波带片对准方式、干涉强度对准、激光外差干涉以及莫尔条纹对准方式。此外,光刻胶中还会添加光增感剂、光致产酸剂等成分来达到提高光引发效率、优化线路图形精密度的目的。在受到紫外光-后,它在显影液中的溶解度会发生变化。
分类
根据光刻胶按照如何响应紫外光的特性可以分为两类。
正胶
-前对显影液不可溶,而-后变成了可溶的,能得到与掩模板遮光区相同的图形。
优点:分辨率高、对比度好。
缺点:粘附性差、抗刻蚀能力差、高成本。
灵敏度:-区域光刻胶完全溶解时所需的能量
负胶egative
photo resist
与正胶反之。
优点: -的粘附能力和抗刻蚀能力、感-度快。
缺点: 显影时发生变形和膨胀,导致其分辨率。
灵敏度:保留-区域光刻胶原始厚度的50%所需的能量。
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