HAKUTO 离子蚀刻机 20IBE-J用于光学器件精密加工

某光学器件制造商采用伯东 hakuto 离子蚀刻机 20ibe-j 应用于光学器件精密加工, 通过蚀刻工艺提高光学器件的聚酰薄膜的表面光洁度.


hakuto 离子蚀刻机 20ibe-j 技术参数

portant;">

φ4 inch x 12片

portant;"> 基片尺寸

portant;"> φ4 inch x 12片

φ5 inch x 10片

φ6 inch x 8片

portant;"> 均匀性

portant;"> ±5%

portant;"> 硅片刻蚀率

portant;"> 20 nm/min

portant;"> 样品台

portant;"> 直接冷却,水冷

portant;"> 离子源

portant;"> φ20cm 考夫曼离子源






伯东 kri 射频离子源 rficp 220 技术参数:

portant;"> 离子源型号

portant;"> rficp 220

portant;"> discharge

portant;"> rficp 射频

portant;"> 离子束流

portant;"> >800 ma

portant;"> 离子动能

portant;"> 100-1200 v

portant;"> 栅极直径

portant;"> 20 cm φ

portant;"> 离子束

portant;"> ---, 平行, 散射



portant;">

portant;">


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