HAKUTO 全自动离子刻蚀机 MEL3100用于蚀刻覆铜板

某印制板线路板生产工厂采用伯东 hakuto 全自动离子刻蚀机 mel3100 将覆铜板上不需要的铜蚀刻掉, 将需要保留的铜保留下来.




hakuto 全自动离子刻蚀机 mel3100 技术参数:

portant;"> model

portant;"> mel3100

portant;"> wafer size

portant;"> 3"～6"

portant;"> wafer per

portant;"> 1 wafer

portant;"> cassette no.

portant;"> 25 wafers

portant;"> cassette qty

portant;"> 1pc.

portant;"> throughput

portant;"> 10 (wafer/hr) *1

portant;"> pressure ultimate

portant;"> 8×10-5 (pa) *2

portant;"> pressure process

portant;"> 2×10-2 (pa) *2

portant;"> etching rate

portant;"> >10 (nm/min)@sio2 *3

portant;"> etching uniformity

portant;"> ±5%@132mm (6") *3

portant;"> wafer surface temp.

portant;"> <100℃ *3

portant;"> stage rotating

portant;"> 1～20 (rpm) ±5%

portant;"> stage tilting

portant;"> ±90°±0.5°

portant;"> *1: estimated process time 5min

portant;"> *2: no wafer on stege / process chamber

portant;"> *3: depending on process



该工厂采用 hakuto 全自动离子刻蚀机 mel 3100 的主要原因:

1. 所有流程全自动减少人工操作, 从而---了产品的无差错、高稳定性和高

2. 采用高的蚀刻考夫曼离子源, ------的均匀性和高蚀刻率

3. 占用空间小

4. 控制单元系统提供操作通过触摸屏/ 10.4英寸, 数据记录可以显示在屏幕上

5. 高冷却效果

6. ---的重复性和再现性的旋转和倾斜阶段具有---的可重复性利用脉冲电动机

7. 快速响应时间和本地服务能力, 减少停机时间的工具



工厂采用 hakuto 全自动离子刻蚀机 mel 3100 运行结果：

1. 提高蚀刻过程的均匀性

2. 提高精密程度, 提高产线的生产工艺能力

3. 提高产线的生产率, 降低劳动强度, ---生产的连续性



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