伯东KRI考夫曼射频离子源RFICP140辅助镀制OSR膜层

某光学薄膜制造商为了提高光学太阳反射镜osr的膜层附着力, 采用伯东 kri 考夫曼射频离子源 rficp140 在镀膜前清洗光学太阳反射镜osr.


伯东 kri考夫曼射频离子源 rficp140 技术参数:

portant;"> 型号

portant;"> rficp 140

portant;"> discharge

portant;"> rficp 射频

portant;"> 离子束流

portant;"> >600 ma

portant;"> 离子动能

portant;"> 100-1200 v

portant;"> 栅极直径

portant;"> 14 cm φ

portant;"> 离子束

portant;"> ---, 平行, 散射

portant;"> 流量

portant;"> 5-30 sccm

portant;"> 通气

portant;"> ar, kr, xe, o2, n2, h2, 其他

portant;"> 典型压力

portant;"> < 0.5m torr

portant;"> 长度

portant;"> 24.6 cm

portant;"> 直径

portant;"> 24.6 cm

portant;"> 中和器

portant;"> lfn 2000





使用 kri考夫曼射频离子源 rficp140是因为其束流密度、能量可以控制, 工艺刚好符合客户要求.



其工艺流程为:

在原有的真空镀膜机上安装一台kri考夫曼射频离子源 rficp140, 产生离子束. 离子束清洗应用在镀膜沉积前, 利用离子束轰击基片, 溅射基片表面的污染物进行净化, 同时也对基片表面除气.



先将清洗干净的石英玻璃基片放入真空室,再将系统的真空度抽至低于 5·10-4pa, 然后充入工作气体氩气保持 5min 后, 打开离子源进行清洗. 清洗完毕后再次将系统的真空度抽至低于 5·10-4pa,充入氩气至 0.3pa 进行溅射镀银.



为了---真空室的真空度, 客户采用的是伯东pfeiffer 涡轮分子泵 hipace1800, 其参数如下：

portant;"> 分子泵型号

portant;"> 界面 dn

portant;"> 抽速 l/s

portant;"> 压缩比

portant;"> 启动压强mbar

portant;"> 压力

portant;"> 全转速气体流量hpa l/s

portant;"> 启动
时间

portant;"> 重量

portant;"> 进气

portant;"> 排气

portant;"> 氮气
n2

portant;"> 气he

portant;"> 氢气 h2

portant;"> 氮气
n2

portant;"> 氮气n2

portant;"> hpa

portant;"> 氮气n2

portant;"> min

portant;"> kg

portant;"> hipace 1800

portant;"> 200

portant;"> 40

portant;"> 1,450

portant;"> 1,650

portant;"> 1,700

portant;"> > 1x108

portant;"> 1.8

portant;"> < 1x10–7

portant;"> 20

portant;"> 4

portant;"> 33 – 34





运行结果:

kri考夫曼射频离子源 rficp140可以对基片表面进行有效的清洁、活化的, 有利于膜层附着力







若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:

上海伯东: 罗先生 台湾伯东: 王女士
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