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正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有-的抽速,但不能抽-,而三极型溅射离子泵,或二极型非对称阴极溅射离子泵对有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。
⑴真空泵应安装在地面结实坚固的场所,周围应留有充分的余地,便于检查、维护、保养。真空泵底座下应保持地基水平,底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装,-真空泵运转平稳,振动小。
真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子,降低真空室内的气体压力,使之达到要求的真空度。概括地讲从-到-真空有一个很大的范围,至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。
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