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镀膜技术作为材料制备的新技术,已从实验室的探索性研究转而应用于-的工业生产,并且正在向各个行业中渗透,其应用范围和作用还正在不断地扩大和深化。这种新技术不仅涉及到物理学、化学、结晶学、表面科学和固体物理等基础学科,还和真空、冶金和化工等技术领域密切相关。
真空镀膜加工的科学蒸镀
在气态质迁移时,为了-膜层的,一般都是在真空镀膜加工或惰性气氛中进行,并施加电场、磁场或高频等外界条件来进行活化,以增加到达基底上的气态物质的能量,提供气态物质发生反应的能量,即提供气态物质反应的能。
薄膜在基底上的形成过程是一个复杂的过程,它包括:膜的形核、长大,膜与基底表面的相互作用等等。近年来,薄膜制作时还在基底上施加电场、磁场、离子束轰击等辅助手段,其目的都是为了控制凝聚成膜的和性能。根据成膜方法的基本。
在真空蒸镀时,气态粒子是由放于蒸发源中的蒸发材料产生的,而蒸发源的加热可以采用电阻法、高频感应法、电子束轰击、激光蒸发或放电法等。图1-1是真空蒸镀设备和一些蒸发源的简图。该真空蒸镀设备的工作室为金属钟罩,并备有手动的或液压的提升机构。底盘下面是由机械泵和扩散泵组成的抽气系统,通过真空阀门对工作室抽真空。
真空镀膜加工即真空电镀是一种物理沉积现象。即在真空状态入气,气撞击靶材,靶材分离成分子被导电的货品吸附形成一层均匀光滑的表面层。其特点就是保色久,耐磨度好,但是由于其对环境要求较严格而且工艺相对比较复杂成本方面比一般电镀要高。在真空镀膜加工的上下表面都会发生反射,这样两束光相遇的时候,其光程差,其中n0是膜的折射率,d是膜的厚度。
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