复合磁控溅射镀膜机

成都超迈光电科技有限公司为您提供复合磁控溅射镀膜机。设备主要由真空腔体、真空系统、工件盘系统、烘烤系统、溅射系统、过渡仓、磁力机械手、离子轰击系统、充气系统和在线测量系统组成，同时匹配空气压缩气体气源和水冷系统，可根据客户使用需求定制。
真空腔体：φ650x700双层水冷；可根据实际需求定制
真空系统：分子泵+低温泵+罗茨泵+机械泵复合真空系统；
真空抽速：1600l/s，进口全量程复合真空计，全金属防爆真空规；
磁控靶组件：4个矩形靶，3个圆形靶，根据客户实际需要匹配中频、射频、脉冲直流溅射电源；
离子源：1套线性离子源，匹配---电源；
气路：4路反应气体，进口流量计，1路毛细保护气路；
烘烤温度：300℃，不锈钢铠装加热器，可拆卸快装结构；
工件盘：导轨多工位行星工件盘2套，工件盘装夹移动小车一辆；
控制系统：西门子plc+西门子人机界面+工业控制计算机
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