ZZS热蒸发/电子束镀膜机

成都超迈光电科技有限公司为您提供zzs热蒸发/电子束镀膜机。形式：箱式一体机，立式前开门，蒸发室和抽气室为整体焊接式，一体机系统。
真空系统：真空8x10-5pa，主泵为复合分子泵，可选配进口。
真空测量：配三路数字复合真空计，均采用安全防爆金属测量规，可选配进口。
工件架系统。客户需求定制，配置可扩展4英寸、3英寸、2英寸基片的---互换工装，转速3～30rpm变频可调，工件盘为球形和行星工件盘可选，行星工件盘成本较高。
烘烤系统。不锈钢铠装加热器匹配数字功率控制器和pid控制模块，烘烤温度300℃，温控精度1℃，过冲不超过2℃。
电子束蒸发源。e型电子束蒸发源系统(e型)1套，主体有屏蔽罩，单枪、单电源、单扫描，配置独立高压控制柜。选配或必须配置
坩埚：坩埚1套，电动转位和点动转位，配置无氧铜坩埚一套。
电阻蒸发源：2套电阻蒸发源。选配或主配
膜厚测试系统。配石英膜厚在线测量系统， rs-232 和 usb兼容，匹配水冷膜厚探头。选配国产或进口
离子源:一套，离子源均匀区域φ400mm，距圆口50cm束流能量不小于300ev。选配
控制系统：成熟---的真空镀膜控制系统，西门子工业级10英寸触摸屏和plc，能够实现抽真空、工转烘烤、自动充气、自动镀膜、自动冷却放气等镀膜生产流程；支持半自动和手动等镀膜操作方式。水、电、气路有故障自动报警和保护系统，采用声光报警。
说明：根据用户要求，公司愿与客户联合研发，共享---，公司致力于工艺与设备---匹配。
     联系时请说明是在云商网上看到的此信息，谢谢！
     联系电话：13981907896，13981907896，欢迎您的来电咨询！
     本页网址：https://www.ynshangji.com/cp/38429154.html
     推荐关键词： PVD真空镀膜, DIY真空镀膜, CVD真空镀膜, 晶体生长设备, 等离子刻蚀设备