真空镀膜机分类
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,包括真空离子蒸发镀膜机、磁控溅镀膜机射、mbe分子束外延镀膜机和pld激光溅射沉积镀膜机等很多种。主要是分成蒸发和溅射两种。在真空镀膜设备中需要镀膜的被成为基片,镀的材料被成为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程形成薄膜。真空镀膜机对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且终沉积在基片表面,经历成膜过程,终形成薄膜。炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。
根据工艺要求选择不同规格及类型镀膜设备,其类型有电阻蒸发真空镀膜设备、电子束蒸发真空镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、离子镀真空镀膜设备、磁控反应溅射真空镀膜设备、空心阴极离子镀和多弧离子镀等。夹具运转形式有自转、公转及公转+自转方式,用户可根据片尺寸及形状提出相应要求,转动的速度范围及转动精度:普通可调及变频调速等。
真空镀膜机给物件镀膜,为什么要在真空状态下进行?
真空镀膜机已经广泛应用于生活中,大家对它也是耳熟能详,也了解他的作用和用处,包括他的应用领域,但是很多人却不太了解,真空镀膜机在给物件镀上一层膜的时候,为什么要选择在真空状态下进行:
大家都知道物件镀膜在常压下蒸镀膜料无法形成理想的薄膜,事实上,如在压力不够低(或者说真空度不够高)的情况下同样得不到好的结果,比如在10托数量级下蒸镀铝,得到的膜层不但不光亮,甚至发灰、发黑,而且机械强度极差,用松鼠毛刷轻轻一刷即可将铝层破坏。蒸镀必须在一定的真空条件下进行,这是因为:
1较高的真空度可以---汽化分子的平均自由程大于蒸发源到基底的距离。
由于气体分子的热运动,分子之间的碰撞也是极其频繁的,所以尽管气体分子运动的速度相当的高(可达每秒几百米),但是由于它在前进的过程中要与其它分子多次碰撞,一个分子在两次连续碰撞之间所走的距离被称为它的自由程,而大量分子自由程的统计平均值就被称为分子的平均自由程。
2在较高的真空度下可以减少残余气体的污染在真空度不太高的情况下,真空室内含有众多的残余气体分子(氧、氮、水及碳氢化合物等),它们能给薄膜的镀制带来---的危害。它们与汽化的膜料分子碰撞使平均自由程变短;它们与正在成膜的表面碰撞并与之反应;它们隐藏在已形成的薄膜中逐渐侵蚀薄膜;它们与蒸发源高温化合减少其使用寿命;它们在已蒸发的膜料表面上形成氧化层使蒸镀过程不能顺利进行。
精密光学真空镀膜设备在保养的时候有哪些保养方面的措施,下面的内容中我们就来了解。
一、定期更换扩散泵油:真空镀膜机扩散泵油使用一段时间,约二个月两班:,因在长期高温环境,虽然较高真空时才启动扩散泵,但仍残留氧气及其它成份使之与扩散泵油起反应,扩散泵油在高温下也可能产生裂解,使其品质下降,而延长抽气时间。在我们认为时间延长得太多时,-更换。
二、真空泵:真空镀膜机机械泵油、维持泵油在使用二个月,油质会发生变化。因油可能抽入水分、杂质及其它原因,而使用油粘性变差,真空下降,故需要更换。如为新设备,在使用头半个月即应更换,因在磨合期,油含磨合铁粉较多,会加剧磨损。
三、清洁卫生:定期将真空镀膜设备及其周围环境卫生搞好,常保持设备内外清洁,将真空镀膜设备周围环境整理有条,有一个好的工作环境,以保安全。
东莞市至成真空科技有限公司从事各种真空镀膜设备制造,致力于研发和生产真空镀膜机,为行业客户提供定制化的工艺解决方案和镀膜设备。
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