真空镀膜系统的制作方法
在现有的真空镀膜机中，安装在镀膜腔体中的加热装置多种多样，现有的用于真空镀膜的加热装置大多有加热效率不高，无法减轻操作负担、以及提高作业效率，受热不均等问题。
提供一种真空镀膜系统，本系统由真空镀膜系统和真空手套箱系统集成而成，可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀，并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。
真空镀膜系统优点：蒸发镀膜与手套箱组合，实现蒸镀、封装、测试等工艺全封闭制作，使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境氛围的系统中，消除有机大面积电路制备过程中---环境中不稳定因素影响，保障了、大面积有机光电器件和电路的制备。
如何保养镀膜机才能寿命更长？
真空镀膜机就是：蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程散点－岛状结构-迷走结构-层状生长形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且终沉积在基片表面，经历成膜过程，终形成薄膜。
那么在使用的同时，我们怎么去保养他，爱护它，从而让他寿命更长呢？
一般扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入---，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，真空镀膜设备便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。
方法是：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6x10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气---后方可加热，否则扩散泵油会烧环，真空镀膜设备无法进入工作状态。
方法是：用naoh饱和溶液反复擦洗真空室内壁，注意人体皮肤不可以直接接触naoh溶液，以免灼伤目的是使镀上去的膜料铝al与naoh发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。
当粗抽泵滑阀泵，旋片泵连续工作一个月雨季减半，需更换新油。
方法是：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量油视镜观察。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。
溅镀机设备与工艺磁控溅镀
溅镀机由真空室，排气系统，溅射源和控制系统组成。溅射源又分为电源和溅射sputtergun磁控溅射分为平面型和圆柱型，其中平面型分为矩型和圆型，靶材料利用率30-40%，圆柱型靶材料利用率>;50%溅射电源分为：直流dc、射频rf、脉冲pulse，直流：800-1000vmax导体用，须可灾弧。
射频：13.56mhz，非导体用。脉冲：泛用，新发展出溅镀时须控制参数有溅射电流，电压或功率，以及溅镀压力5×10-1—1.0pa，若各参数皆稳定，膜厚可以镀膜时间估计出来。
靶材的选择与处理十分重要，纯度要佳，质地均匀，没有气泡、缺陷，表面应平整光洁。对于直接冷却靶，须注意其在溅射后靶材变薄，有可能破损---是非金属靶。一般靶材薄处不可小于原靶厚之一半或5mm。
磁控溅镀操作方式和一般蒸镀相似，先将真空抽至1×10-2pa，再通入ar气ar离子轰击靶材，在5×10-1—1.0pa的压力下进行溅镀其间须注意电流、电压及压力。开始时溅镀若有打火，可缓慢调升电压，待稳定放电后再关shutter.在这个过程中，离子化的惰性气体ar清洗和暴露该塑胶基材表面上数个毛细微空，并通过该电子与自塑胶基材表面被清洁而产生一自由基，并维持真空状态下施以溅镀形成表面缔结构，使表面缔结构与自由基产生填补和高附着性的化学性和物理性的结合状态，以在表面外稳固地形成薄膜.其中，薄膜是先通过把表面造物大致地填满该塑胶毛细微孔后并作链接而形成．
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