真空镀膜设备故障排除及检漏方法
真空镀膜设备故障排除及检漏方法在真空镀膜设备正常工作时,主开关电路中的开关管处于饱和导通状态,管压降保持在100v左右,栅极得到正偏压50v,高压指示6kv(或10kv)。从检测电路r21上得到的电压控制信号不---使d13稳压管击穿导通,bg14、bg15、bg16处于截止状态,而bg11、bg12、bg13处于导通状态,由bg11输出一个2.5v左右的高电位。栅压切换电路上的bg10得到2.5v的电压控制信号而处于导通状态,使得bg9的基极电位变为0电位而截止,主开关管通过d6、d7得到正向50v偏置的电压。同时bg7、bg8也处于导通状态,d8稳压管击穿导通,提供主开关管栅极恒定的电流。由于bg10处于导通状态,使得帘栅控制电路的bg4的基极处在0电位而截止,帘栅压的大小受高压分压器信号ur2的控制。当ur2<ud2时,输出的帘栅压的大小是随ur2的变化而变化。
在真空镀膜设备不正常情况下,增加束流时,由于束斑的位置不在中心,电子束可能会打到坩埚的边缘,或者束斑的位置在中心,但蒸镀的材料被打穿等原因,都会出现高压无指示。这是由于高压输出被近似短路,造成电子束流大于预定值,主开关管处于截止状态,承受全部高压,使得高压无输出。由于打火而造成过大的束流,在电流检测电路r21取得的过流信号,使得d13稳压管被击穿导通,bg14、bg15、bg16处于导通状态,c13通过bg14、r51放电,使得bg11、bg12、bg13很快截止,bg11输出为0v。栅压切换电路上的bg10得到0v的输入信号而截止,bg9---导通,550v正端通过bg9接到主开关管的阴极,负端通过d5管接到主开关管的栅极,主开关管得到-550v偏压而进入---截止,此时高压就没有指示了。
磁控溅射镀膜生产线系统设计系统设计的特点
1、生产线采用plc全过程控制，并配有彩色显示屏，显示镀膜工艺过程参数等；
2、实时动画形式显示监控磁控镀膜生产线的工艺流程。磁控镀膜生产线的设备是密封的，生产时看不见玻璃在真空室里面的运行情况，通过通用组态式监控系统形象的动画功能来实时反应玻璃在密封真空室里的运行情况，让现场操作工对整个生产流程了若指掌。
3、系统功能丰富：包括手/自动模式选择、工艺方案选择、数据检测记录、故障报警记录、自动诊断保护、操作权限限定等等。系统组成结构图上位监控系统采用的是通用组态式监控系统，其与下位控制系统的三菱fx2nplc通信方式采用rs-232串行通讯方式。lg变频器及真空泵、抽气阀等都是由三菱fx2n-plc来控制，而plc通过一个扩展的232bd模块与计算机相连。软件系统完成的主要功能
1、以实时动画形式监控磁控镀膜生产线的工艺流程，监控电机、真空泵、抽气阀等部件的运行状态；
2、记录设备运行过程中产生的实---警信息；
3、plc输入、输出点实时监控。总结该系统现场运行情况---，数据读写速率快，报警功能、设备动作控制等各项功能均达到设计要求，且快速、准确无误，主画面上的动画过程与现场的生产流程配合较好，使用该系统可以非常方便的监控整条生产线的运行。“操作简单，画面精美，软件与设备的通讯性能---，---提升系统形象”通用组态式监控系统软件---性能给予的评价。
真空镀膜机工件除气的---性和真空镀膜机分类介绍
真空状态是支持真空镀膜机运作的环境，---是需要高真空度的设备，通常我们需要达到高真空度，抽气系统的作用是功不可没的，但除了抽气系统外，在真空镀膜设备运行的过程中，还有一点就是，工件的除气。
有些工件它本身内部存在着很多的气体、水分等，这些物质都会随着设备加热时被排放到真空室中，降低了真空度，更甚者，有些气体带有毒性成分，直接损害到真空室内部机械结构，造成设备不能正常运作。另外，正在镀膜过程中，由于工件内气体加热膨胀，容易使已经镀上的膜层裂开，当然这个情况出现的机率视工件本身物理性质有关，像塑料等容易膨胀的，机率就比较高，像金属等硬质的，机率就比较低，但也不能忽视，因此工件的除气是非常---的。
通常我们使用的工件除气方法是烘烤，通过加热把工件内的气体、水分排出，在镀膜前，抽气的同时，对工件进行加热，当工件内水分和气体由于加热而放出后，随着真空室内的气体一起被真空泵抽出。
针对不同的工件采取不一样的除气措施，有效控制工件内部气体与水分排放，提高镀膜的稳定性和均匀性。真空镀膜机分类和适用范围真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
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