又称光致抗蚀剂,是一种由感光树脂、增感剂见光谱增料和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。
原理
光刻胶在接受一定波长的光或者射线时,会相应的发生一种光化学反应或者激励作用。光化学反应中的光吸收是在化学键合中起作用的处于原子外层的电子由基态转入激励态时引起的。对于有机物,基态与激励态的能量差为3~6ev,相当于该能量差的光(即波长为0.2~0.4μm的光)被有机物-吸收,使在化学键合中起作用的电子转入激励态。化学键合在受到这种激励时,或者分离或者改变键合对象,发生化学变化。电子束、x射线及离子束(即被加速的粒子)注入物质后,因与物质具有的电子相互作用,能量逐渐消失。电子束失去的能量转移到物质的电子中,因此生成激励状态的电子或二次电子或离子。这些电子或离子均可诱发光刻胶的化学反应。
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光刻胶是印刷线路板、显示面板、集成电路等电子元器件的上游。光刻胶产业链覆盖范围非常广,上游为基础化工材料行业、精细化学品行业,中游为光刻胶制备,近红外光刻胶价格,下游为电子加工厂商、各电子器产品应用终端。由于上游产品直接影响下游企业的产品,下业企业对公司产品的和供货能力十分重视,常采用采购的模式,进入壁垒较高。
在下游半导体、lcd、pcb等行业需求持续扩大的拉动下,光刻胶市场将持续扩大。2018年光刻胶市场规模为85亿美元,2014-2018年复合增速约5%。据ihs,光刻胶价格,未来光刻胶复合增速有望维持5%。按照下游应用来看,目前半导体光刻胶占比24.1%,lcd 光刻胶占比26.6%,pcb 光刻胶占比24.5%,其他类光刻胶占比24.8%。
光刻是整个集成电路制造过程中耗时长、难度大的工艺,耗时占ic制造50%左右,玻璃光刻胶价格,成本约占ic生产成本的1/3。光刻胶是光刻过程重要的耗材,化学光刻胶价格,光刻胶的对光刻工艺有着重要影响。
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