1、负性光刻胶
主要有聚酸系(聚酮胶)和环化橡胶系两大类，前者以柯达公司的kpr为代表，后者以omr系列为代表。
2、正性光刻胶
主要以-醒为感光化台物，以酚醛树脂为基本材料。的有az-1350系列。正胶的主要优点是分辨率高，缺点是灵敏度、耐刻蚀性和附着性等较差。
3、负性电子束光刻胶
为含有环-、乙烯基或环-物的聚合物。 的是cop胶，典型特性:灵敏度0.3~0.4μc/cm2 (加速电压10kv时)、分辨率1.0um、 对比度0.95。-分辨率
的主要因素是光刻胶在显影时的溶胀。
4、正性电子束光刻胶
主要为-、烯砜和-类这三种聚合物。的是pmma胶，典型特性:灵敏度40~ 80μc/cm2 (加速电压20kv时)、分辨率0.1μm、 对比度2~3。
pmma胶的主要优点是分辨率高。主要缺点是灵敏度低，nr9 3000py光刻胶，此外在高温下易流动，耐干法刻蚀性差。
在-过程中，正性胶通过感光化学反应，nr9 3000py光刻胶，切断树脂聚合体主链和从链之间的联系，达到削弱聚合体的目的，所以-后的光刻胶在随后显影处理中溶解度升高。-后的光刻胶溶解速度几乎是未-的光刻胶溶解速度的10倍。而负性胶，在感光反应过程中主链的随机十字链接更为紧密，并且从链下坠物增长，所以聚合体的溶解度降低。见正性胶在-区间显影，负性胶则相反。负性胶由于-区间得到保留，漫射形成的轮廓使显-的图像为上宽下窄的图像，而正性胶相反，nr9 3000py光刻胶厂家，为下宽上窄的图像。
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光刻胶产品种类多、性强，是典型的技术密集型行业。不同用途的光刻胶-光源、反应机理、制造工艺、成膜特性、加工图形线路的精度等性能要求不同，导致对于材料的感光性能、溶解性、耐蚀刻性、耐热性等要求不同。因此每一类光刻胶使用的原料在化学结构、性能上都比较特殊，要求使用不同品质等级的光刻胶化学品。
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