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产品配置：
★样片数量及尺寸： 1片φ8英寸或5片φ4英寸或伞形工件架用户定制
★蒸发材料：金属；非金属；化合物等薄膜材料。
★蒸发腔体：高真空系统。
★蒸发不均匀性：≤±3%-±5％
★工件架：可旋转，转速可调
★加热：常规加热
★电子枪：e型，带xy偏转扫描
★电子枪坩埚：6穴，17cc
★膜厚监控功能：石英晶控膜厚在线监测与终点控制
★清洗功能：可选配离子源清洗
★器件一次成型复合实验系统：通过复合mask系统与样品对准系统，一次完成器件的多个工艺步骤
★检测与控制光学特性的功能：可选配光控仪
★操作模式：全自动+半自动控制
以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供，希望对同行业的朋友有所帮助。
★ 完全封闭的系统框架设计，外观更漂亮，使用更安全；是一台---美学和用户操控体验的全新升级产品；
★ 前开门真空腔体，方便取放基片、添加蒸发材料以及真空室的日常维护；
★ 可定制一体化高的精度刻蚀掩膜板；基片台公转，转速0～25rpm连续可调；平板基底衬底可选择加热或水冷；
★ ---的薄膜均匀性和重复性，采用进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚；
★ 可沉积金属au，上海高真空电子束镀膜机， ag， al， ti，高真空电子束镀膜机公司， pt， mo， fe， cr， ni等、化合物ito等及有机物材料进口电子枪。
1、烘烤照明系统1套。烘烤温度：室温-150℃。在10-4pa时，真空室内残余气体的组合，水蒸汽约占 90%以上，因此在该压强下进行蒸镀，实际上相当于在水蒸汽中制膜，为了减少水份，高真空电子束镀膜机厂家，提高真空室温，使水分解，是提高膜层的一种可行办法。
2、电控柜：标准电控柜，组装总控制电源、真空系统控制分子泵、机械泵电源、挡板等、数显真空计等。柜底下配脚轮，高真空电子束镀膜机，方便移动、定位。
3、手动按钮式操作，备留机电转换及控制接口，方便实验记录.
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