等离子体气相合成法是制备纳米粉体的主要方法之一。低温等离子体法中微粒形成是化学反应和成核生长的结果，其原理与高温热解反应、激光---反应的热化学反应过程类似。高温等离子体法中微粒的形成是反应气体等离子化后冷却和凝聚的结果。等离子体气相合成法又分为直流电弧等离子体法dc法、高频等离子体法rf法和复合等离子体法。
物质的微粉化机理大致分为两类：一类是将大块物质极细分割尺寸降低的方法，物质无变化，有机械粉碎法、烧结法、溶出法化学处理等；另一类是将单位分子或原子组合构筑过程的方法，纳米粉制备设备厂家，物质发生变化，热分解法、固相反应法等。液相法是目前实验室和工业上广泛采用的制备纳米粉体的一种方法。依据化学手段，在不需要复杂仪器的前提下，纳米粉制备设备多少钱，通过简单的溶液过程即可制备出纳米粉体。
cvd法制备纳米粒子时，可控的工艺参数多，比如浓度、流速、温度、组成和配比等。因此可以通过控制工艺参数实现纳米粒子组成、形貌、尺寸和晶相等的主动控制。在气相状态下，微粒成核和生长空间大，纳米粉制备设备，使制备的纳米粒子粒径分布窄，单分散度好，形貌均一。反应气体分子对特定波长激光束的吸收，使反应气体分子产生热解或化学反应，发生核的形成和生长过程，从而制备纳米粒子。
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