沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产、销售电子束产品,以下信息由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供。
1、样品台:水冷样品座,样品座高度可调,便于调整蒸距。调节范围:样品台与基片的可调节范围300mm.
2、电子枪:电子枪功率6kw可调满足金属、绝缘材料高速蒸发4穴水冷坩埚适用于对多种材料进行蒸发镀制多层膜且膜层较薄工艺中应用效果好。为保持e型电子枪蒸发绝缘稳定性,配制-束流扫描控制器,具有多种供控制程序进行选择的预设模式,方便于操作、实验数据积累。配套相应蒸发坩埚内衬,以适应不同材料,-蒸发速率稳定性,高真空电子束镀膜机,重复性.
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电子束蒸镀是利用加速电子轰击镀膜材料,电子的动能转换成热能使镀膜材料加热蒸发,并成膜。电子枪有直射式、环型和e型之分。电子束加热蒸镀的特点是能获得-的能量密度,高真空电子束镀膜机报价,可达109w/cm2,高真空电子束镀膜机厂家,加热温度可达3000~6000℃,可以蒸发难熔金属或化合物;被蒸发材料置于水冷的坩埚中,可避免坩埚材料的污染,制备高纯薄膜;另外,由于蒸发物加热面积小,因而热辐射损失减少,热效率较高。但结构较复杂,且对较多的化合物,由于电子的轰击有可能分解,故不适合多数化合物的蒸镀。
电子枪工作前必须检查水流是否正常,工作过程中务必-水压、水流量指示,否则将造成坩埚损坏。?
电子枪起动真空度6.7×10-3pa。?
蒸发前电子枪的阴极灯丝应预热,预热电流为0.6a,预热时间新阴极5分钟以上应缓慢调至0.6a,以防阴极变形,旧阴极2分钟即可。?
蒸发前对材料先预热除气。?
蒸发完后,按下列顺序关闭高压电源:关蒸发档板***关闭高压***灯丝电源调至预热0.6a的位置***关闭束-节电源并调至低位置***关闭磁场电源,温州高真空电子束镀膜机,工作时操作顺序与此顺序相反。?
电子枪灯丝停止加热后,要停留10分钟以上才能向蒸发室放气
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