随着现代科学和技术的发展,薄膜科学已成为近年来迅速发展的学科领域之一,激光脉冲沉积设备公司,是凝聚态物理学和材料科学的一个重要研究领域。功能薄膜是薄膜研究的主要方面,它不仅具有丰富的物理内涵,而且在微电子、光电子、超导材料等领域具有十分广泛的应用。长期以来,人们发明了多种制膜技术和方法:真空蒸发沉积、离子束溅射、磁控溅射沉积、分子束外延、金属有机化学气相沉积、溶胶- 凝胶法等。上述方法各有特点,并在一些领域得到应用。但由于其各有局限性,仍然不能满足薄膜研究的发展及多种薄膜制备的需要。随着激光技术和设备的发展,---是高功率脉冲激光技术的发展,脉冲激光沉积pld技术的特点逐渐被人们认识和接受
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脉冲激光沉积技术适合做的薄膜包括各种多元氧化物,激光脉冲沉积设备,氮化物,---物薄膜,金属薄膜,磁性材料等。
应用领域:
单晶薄膜外延srtio3,laalo3
压电薄膜pzt,aln,bifeo3,batio3
铁电薄膜batio3,kh2po4
热电薄膜srtio3
金属和化合物薄膜电极ti,ag,au,pt,ni,co,srruo3,lanio3,yzro2,gdceo2,lasrcofeo3
半导体薄膜zn(mg)o,激光脉冲沉积设备报价,aln,srtio3
高k介质薄膜hfo2,ceo2,al2o3,batio3,srtio3,pbzrtio3,laalo3,ta2o5
超导薄膜yba2cuo7-x,bisrcacuo
光波导,光学薄膜pzt,aln,batio3,al2o3,zro2,激光脉冲沉积设备厂家,tio2
超疏水薄膜ptfe
红外探测薄膜v2o5,pzt
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——脉冲激光沉积供应商,我们为您带来以下信息。
主要用途:
用于制备超导薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、超硬薄膜等。适用于各大专院校、科研院所进行薄膜材料的科研与小批量制备。
系统组成:
主要由溅射真空室、旋转靶台、基片加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成。
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