1、系统自动监控和保护功能强,包括断水报警、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护等。
2、分子筛吸附装置,避免机械泵返油造成膜层污染,提高薄膜纯净度。
3、膜厚监测及控制系统,可在线监测及控制膜层厚度,激光分子束外延设备,膜厚仪与基片挡板联动,形成闭环控制。采用晶振膜厚仪
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真空测量:采用数显复合真空计两只电阻规测量低真空,一只电离规测量高真空,激光分子束外延设备, 测量范围为1×105pa —1×10-5pa。
断水报警、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护。
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高真空电子束蒸发镀膜设备采用完全封闭的系统框架,激光分子束外延设备多少钱,结构紧凑,外观更漂亮,使用更安全。6-10kw e型电子可选国产或进口,可选配离子束清洗及辅助镀膜功能。该设备广泛应用于科研院所、高校在片状、半球状、异形基底表面制备金属/化合物ito等氧化物/导电薄膜/光学薄膜等。
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