激光脉冲沉积装置-沈阳鹏程有限公司-激光脉冲沉积装置多少钱

脉冲激光沉积的优点

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1. 易获得期望化学计量比的多组分薄膜，即具有---的保成分性；

2. 沉积速率高，试验周期短，衬底温度要求低，激光脉冲沉积装置多少钱，制备的薄膜均匀；

3. 工艺参数任意调节，对靶材的种类没有---；

4. 发展潜力---，具有---的兼容性；

5. 便于清洁处理，可以制备多种薄膜材料。

脉冲激光沉积系统的配置介绍

沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产、销售脉冲激光沉积，我们为您分析该产品的以下信息。

1.靶: 数量6个，大小1-2英寸，被激光照射时可自动旋转，靶的选择可通过步进电机控制;

2.基板:采用适合于氧气环境铂金加热片，大小2英寸，加热温度可达1200摄氏度，温度差<3%，加热时基板可旋转，工作环境的压力可达300mtorr;

3.基板加热电源，高到1200度;

4.真空成膜室腔体:不锈钢sus304材质，内表面电解抛光，本底真空度<5e-8 pa;

5.样品搬运室:不锈钢sus304材质，内表面电解抛光，本底真空度<5e-5 pa;

6.排气系统:分子泵和干式机械泵;

7.阀门: 采用真空挡板阀;

8.真空检测:真空计;

9.气路两套: 采用气体流量计控制;

10.薄膜生长监控系统: 采用扫描型差分rheed;

11.监控系统:基板温度的监控和设定，基板和靶的旋转，靶的更换等;

12.各种电流导入及测温端子;

13.其它各种构造:各种真空位移台，激光脉冲沉积装置，磁力传输杆，真空法兰，真空密封垫圈，真空用波纹管等;