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真空腔体烘烤注意事项

真空腔体烘烤时的真空度变化结果，烘烤采用缠绕加热带的方式。当真空度达到约10-3 pa时，开始给加热带逐渐通电加热，保持腔体在150℃下进---时间烘烤。烘烤过程中关闭离子泵，同时也给离子泵通电进行加热烘烤，这时的真空腔体只靠分子泵和前级泵来排气。随着腔体温度的升高，腔体内表面吸附的水蒸气等气体分子大量放出，真空度会迅速恶化。气体的放出量随着烘烤时间的延长而逐渐减少，因此真空度也逐步好转。停止烘烤时，真空腔体，切断加热带和离子泵的烘烤电源，然后趁腔体仍处在高温的状态下对钛升华泵进行除气处理。钛升华泵的除气处理是指给ti丝通电加热，但又控制温度在ti升华温度之下的操作。钛升华泵除气处理的目的是清除吸附在ti丝表面的气体分子以及其他可能的污染物，真空腔体报价，以---钛升华泵的正常工作。充分完成钛升华泵的除气处理之后，启动离子泵和钛升华泵，加大真空排气的力度。随着排气力度的增大和由于腔体温度降低而放出气体的减少，真空腔体厂家，系统的真空度会迅速好转。

新完成的腔体一次烘烤时，真空腔体价格，一般需要一周时间，重复烘烤后单独的烘烤时间可以适当减少。为了地测量真空度，停止烘烤后也应该对真空计进行除气处理。如果真空泵能力充分而且烘烤时间充足的话，烘烤后真空度可提升几个数量级。

真空腔体的主要作用

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真空腔体是保持内部为真空状态的容器，真空腔体的制作要考虑容积、材质和形状。不锈钢是目前真空系统的主要结构材料。其中300系列不锈钢(表1)是含cr10%——20%的低碳钢，具有优良的抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接性好、导电率和导热率低、能够在-270——900℃工作等优点，在高真空和真空系统中，应用广泛。